SOI制扫描扭转微镜的尺寸效应研究
夏园林 夏操 王竹卿
扫描扭转MEMS微镜是现代光学设备如激光雷达和投影仪的核心部件，近年来随着这些光学设备的开发和普及，对微镜小型高性能化的需求越来越高。在MEMS反射镜的制造方法中，采用SOI晶片可以实现简单成形。本研究以阐明单晶硅的尺寸效应特性，制作了尺寸不同的4种微镜器件。镜部的大小为1.0~1.5 mm，梁截面为宽度、厚度均为15 µm的正方形及宽度7.5 µm、厚15 µm的长方形两种，长度为65~90 µm。断裂强度试验表明，用SOI晶片制作的微镜器件的断裂强度大致为2~3 GPa，不同尺寸对微镜谐振频率和断裂强度有很大影响。
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